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三氟化氮

化学式:NF3
纯度规格:4N6
包装:47L/470L/Bundle/ISO
重量:20kg/200kg/320kg/4t/6t/8t
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参数
三氟化氮(NF3)的主要应用
IC方面:由于作为半导体工业中气体清洗剂的全氟烃(PFC)对环境有害,近年来有逐渐被三氟化氮(NF3)取代之势。使用NF3作为化学蒸气沉积(CVD)箱清洗剂,与全氟烃相比,可减少污染物排放量约90%,且可显著提高清洗速度,从而可提高清洗设备能力约30%。
LCD方面:NF3还可用作蚀刻剂,也用于液晶显示器(LCD)的加工。为此,近年来NF3需求量急剧增长。 
太阳能电池:NF3作为蚀刻和清洗气体也在太阳能电池制造行业广泛应用。
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